位移测量

什么是干涉测量法,干涉仪类型是什么类型

什么是干涉测量学

干涉测量是通过使用激光波长来测量位移。它是非接触式测量的特性,并表示高精度运动控制应用的反馈系统。由于其精确度和精确的分辨率,使其适用于晶圆步道,平板检查和激光微匹配。干涉测量是波浪叠加的过程,以便主要是波浪的信息主要是电磁波。

干涉仪的用途是什么

干涉仪在工业中用于测量小位移。干涉仪的需求是由于半导体和汽车工业对高精度校准的需要而产生的。干涉测量技术是光纤光学、计量学、化学、量子力学、核物理等领域的一项重要研究技术。

干涉仪的原理图

来自透镜的光线被透镜1准直,并分成两束,一束反射到镜1,镜1将平行光束反射到测试部分,然后投射到屏幕上。第二束光穿过投射在镜子2上的分束器1,它将光线反射到分束器2,与来自镜子M1的第一束光重新聚合,然后移动到屏幕上。在没有流动的情况下,两束光在屏幕上给出相同的照明模式,但当流动时,不同阴影的模式在屏幕上组成

为什么天文学家要使用干涉测量法

天文学家使用干涉仪来结合来自望远镜的信号,所以它们的工作方式和更大更强大的仪器一样,可以深入太空一些干涉仪使用光波,另一些使用无线电波。

干涉仪的类型

什么是激光干涉仪

它是一种光电仪器,其通过检查从目标物体反射的参考光束和激光束之间的相位关系来测量光的波长距离。激光产生具有相位相干的单频的准直光线,其中具有光学布置的激光束产生参考光束的参考光束被传输到目标,另一部分被发送到干涉仪。来自源和来自目标的反射光束之间的参考光束之间的相位差等于由光束遍历的额外长度,并且来自两个信号之间的差异的数字化信息提供了距离信息。激光干涉仪由稳定的光源组成,干涉仪光学器件是偏振分束器和后向反射器,移动的转换器或环境传感器的组合,并且最后显示或检测电子器件。

激光干涉仪的用途是什么

它用于精密运动测量,并用于检查精密机床的线性,主要在机床安装过程中的垂直机床结构的垂直性。激光干涉仪用于许多汽车行业,它用作各种长度测量设备的标准校准的跟踪参考,如步骤规格,刻度,角度和坐标测量仪器。

激光干涉仪有哪些类型

激光干涉仪有两种类型,零差型和外差型零差型干涉仪使用单频激光源,而外差型干涉仪使用两个相近频率的激光源。

零差干涉仪

零差干涉仪是FT光谱仪中常用的位置传感器,运动镜的相对位移可以通过对正弦脉冲的计数来确定。速度信息可以通过测量其频率得到,为了确定移动方向,需要额外的光学器件。

外差干涉仪

外差干涉仪通过测量多普勒效应引起的相位变化来测量镜子的位移,这与警用雷达测量汽车速度的方法类似,为了做到这一点,辐射时间频率需要变得更小,这是通过使用一个包含两个频率分量的源来实现的,这两个频率分量彼此靠近,产生一种拍频现象,其振幅变化可以比辐射频率本身慢得多。

牛顿干涉仪

最原始和最简单的干涉仪是牛顿干涉仪,它通常被称为测试光学表面的“测试板法”,在那里测试面和参考面是接触的。条纹是由测试表面和参考表面之间的狭窄空气间隙形成的,测试板已经被眼镜商使用了至少一个世纪,并被广泛使用到今天。牛顿干涉仪的主要缺点之一是当它们接触时可能划伤表面。测试板只能用来检查单个表面的质量。用牛顿干涉仪是不可能检查望远镜的整体系统质量的。

Tymann绿色干涉仪

Tymann Green是最现代的干涉仪之一,单色光由透镜准直,通过分束器分成两个,形成参考和测试梁。光束反射母射和测试平面,通过分束器重新组合,在成像镜头的焦点处观察条纹。Tymann绿色干涉仪能够产生条纹,而无需在参考和测试表面处具有接触。由于光路长度或距离而没有激光的非接触式测试是可以进行的,所以干涉仪的测试和参考臂相同,因此测试和参考表面有效接触,并且它将允许形成条纹。这种光线的平衡允许Tymann-Green Tenferometer测试完整的望远镜。

干涉仪的应用是什么?

干涉仪广泛用于各种科学和工程应用,用于做出准确的测量。通过在对象上扫描干涉仪,我们可以制作非常精确的表面地图。由于可见光的波长在数百纳米中,因此干涉仪可用于测量小于人头发的长度。

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