介绍
对于电子压力测量,需要传感器来检测压力和/或其变化,并使用物理工作原理将其精确且可重复转换为电信号。欧宝体育黑人么电信号欧宝体育黑人么
然后是施加压力的幅度或压力变化的尺寸。下面显示了四个关键的测量原理及其技术实现
电阻压力测量
电阻压力测量的原理基于由偏转引起的电导体的电阻变化的测量基于依赖于压力的偏转。欧宝体育黑人么以下等式适用于电导体的电阻:欧宝体育黑人么
r =ρl/ a
r电欧宝体育黑人么阻
ρ电阻率
l长度
横截面积
如果将拉力施加到导体上,其长度增加并且其横截面积减小(图。如下所示)。由于金属导体的电阻率为特定材料的(温度依赖性)恒定,因此独立于几何形状,由于伸长率,电阻增加。欧宝体育黑人么在压缩的情况下,相反适用。
使用主体实现电阻压力测量原理,该主体在压力下表现出受控偏转。本体频繁地具有被称为隔膜的(薄)区域,其故意削弱。使用金属应变仪测量压力引起的偏转程度。
隔膜用金属应变仪表
通常,四个应变仪施加到隔膜。其中一些位于振膜压缩区域的细长和其他人。如果膜片在压力的作用下偏转,则应应变仪相应地偏转(图。如下所示)。电阻增加欧宝体育黑人么或减小到偏转(伸长率或压缩)。为了准确测量电阻变化,应变仪连接到惠斯通测量桥。
压电压力测量
压电压力测量的原理类似于电阻压力测量原理。然而,由于用于该测量原理的应变仪由半导体材料制成,因此它们由于电阻率的变化而导致的伸长或压缩导致的偏转。根据方程(见上文),电阻与电阻率成比例。欧宝体育黑人么虽然金属中的压电效果可以忽略不计,因此在电阻压力测量中有效地微不足道,但在诸如硅的半导体中,它超过了长度和横截面变化的效果10到100之间的效果
硅隔膜用综合应变仪
与金属应变仪不同,可以附接到几乎任何材料,半导体应变仪集成到膜片中作为微结构。因此,应变仪和偏转体基于相同的半导体材料。通常,四个应变仪集成到由硅制成的隔膜中并连接到惠斯通测量桥。
封装传感器元件
由于微结构不抵抗许多压力介质,因此对于大多数应用,必须将传感器芯片封装。然后必须间接地传输到半导体传感器元件,例如,压力。用一个
金属隔膜和油作为传输介质。由于压电效应的幅度,压电传感器也可以在非常低的压力范围内使用。但是,由于强烈的温度依赖性和
制造过程相关的变化,需要每个单个传感器的单个温度补偿。
电容压力测量
电容压力测量的原理基于电容器的电容的测量,这取决于板间隔。双板电容器的电容使用以下等式确定:
c =ε/ d
C双板电容器的电容
ε介散
电容器板的区域
D板分离
使用具有金属隔膜的主体或涂有导电材料的主体来实现电容式压力测量的原理,该导电材料形成双板电容器的两个板之一。如果是膜片
在压力下偏转,电容器的板分离减小,这导致其电容的增加,而板表面积和介电常数保持恒定(图。
以这种方式,可以以高灵敏度测量压力。因此,电容压力测量也适用于非常低的压力值,甚至在一位数字毫巴范围内。移动膜片的事实
可以偏转,直到它到达电容器的固定板,确保这些压力传感器的高过载安全性。对这些传感器的实际限制来自隔膜材料及其特性,以及所需的连接和密封技术。
压电压力测量
压电 - 电压测量原理基于同名的物理效应,仅在一些非导电晶体中发现,例如,单晶硅石英。如果这种晶体暴露于压力或拉伸
在规定方向上的力,晶体的某些相对的表面分别被带电,正负。由于电荷的晶格元件中的位移,由(可测量的)表面电荷表示的电欧宝体育黑人么偶极力矩结果(图。电荷量与力的值成比例,其极性取决于力方向。欧宝体育黑人么可以测量由表面电荷产生的电压并放大
压电效果仅适用于动态压力的测量。在实践中,压电 - 电压测量值仅限于专业应用。