金属薄膜传感器
主体和隔膜金属薄膜传感器通常由不锈钢制成。它们可以通过在自动精密车床上加工光圈和膜片，以所需的材料厚度制造
然后研磨，抛光和研磨它。在与介质，绝缘层，应变仪，补偿电阻器和导电路径不接触的隔膜侧面使用化学的组合施加
（CVD）和物理（PVD）工艺，并使用蚀刻光刻结构。
这些方法在洁净室条件下和特殊植物中操作，在真空或惰性气氛下的某些部件中，以便可以产生高原子纯度的结构。传感器上制造的电阻器和电导路径明显小欧宝体育黑人么于微米，因此称为薄膜电阻器。
由于所用材料，金属薄膜传感器非常稳定。此外，它耐冲击和振动载荷以及动态压力元件。由于使用的材料是可焊接的，因此可以将传感器焊接到压力连接 - 气密密封，并且没有任何额外的密封材料。由于材料的延展性，传感器具有相对低的过压范围，而是具有非常高的突发压力。
陶瓷厚膜传感器
陶瓷厚膜传感器的主体和膜片由陶瓷制成。由于其稳定性和良好的加工性，氧化铝（Al 2O3）被广泛使用。将四个应变仪在丝网印刷工艺中作为厚膜浆料施加到膜片的侧面，其不会与压力介质接触，然后在高温下燃烧并通过保护涂层钝化。在丝网印刷和燃烧过程中没有允许杂质。因此，制造通常在洁净室中进行
（图。 ）。只有领先的制造商能够用适当的隔离操作他们的植物，以避免任何交叉污染，从而保持高过程稳定性
用于传感器的陶瓷是非常耐腐蚀的。然而，将传感器安装到压力测量仪器壳体中需要额外的密封，用于压力连接，这将不会对所有介质抵抗。另外，与金属薄膜相比，陶瓷是脆性的，因此与金属薄膜相比，突发压力降低
传感器。
