电容是最常见的湿度测量形式之一。湿度传感器通常用于建筑控制。安装在墙上的传感器最有效的位置是在回风管道附近，这里离开房间的空气具有最好的平均湿度。
原则:
电容湿度仪采用电容方程原理
C -电容
电-板间介质材料的介电常数。
板块重叠的区域
d -板间距离
操作:
湿度测量是通过将电介质暴露在空气中的湿气中来完成的。水分改变了两个电极之间的相对电容，这是可以测量的。
介电材料是影响电容式湿度传感器性能的最重要的因素之一。其他因素还包括加工条件、传感器结构和透水电极或电极的性能。
电极:
上面的电极是透水的。透水的顶部电极最初是薄的金膜，但随着技术的进步，现在使用的是破裂的铬膜。多孔金属膜是另一种新兴技术，它只允许水渗透膜，不包括醇。该特性提高了系统的稳定性
传感器，特别是在涉及蒸汽(不包括水蒸气)的应用中。这项技术还能实现超高速响应。
底部电极通常使用导电铝基材料。
介质:
氧化铝是常用的介质。铝氧化物的掺杂可以与氯化锂一起进行，以提供更大的操作范围，通常在-70℃。使用氯化锂还要求设备单独校准，并减慢响应。
优点:
- 传感范围广
- 小尺寸
缺点:
- 非线性
- 需要定期校准
- 不是非常准确
